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Dicing saw#2 | 기판절단장치 / NDS-1012

Hee-Song Hong 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 자연과학관(108동) B101호

Dielectric ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 산화막 건식 식각기 / FABstar

Hee-Song Hong 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

Hee-Song Hong 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

E-beam Evaporator(Temescal) | 전자빔 금속박막증착 장치 / FC-2000

Hyung-il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

E-beam Evaporator(Woosung) | 전자빔 금속박막증착 장치 / WC-4000

Hyung-il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

E-beam lithography | 전자선 노광장치 시스템 / NB3

Luda Lee 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Ellipsometer | 박막 두께 측정기 / Elli-SE-UaM8

Bo-seong Kim 052-217-4191 mbosing@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Furnace_DRY | 열처리 확산로 / KHD-306

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Furnace_WET | 열처리 확산로 / KHD-306

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

HSC Sputter | 고단차피복 박막증착기 / SRN-130

Hyung Il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : NSB 108 Bldg. B101