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보유장비 리스트
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Advanced Plasma System | 플라즈마 시스템 / Gatan-960

Gyeong Ae Lee 052-217-4163 kalee@unist.ac.kr

DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120

Hyung Il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

Electron-Beam PIKA Machine / PF32A

Jae-Hoon Cha 052-217-4069 cjh614@unist.ac.kr

FEI Sputter / EMITECH K575X

Ji Hyun Park 052-217-4177 jihyun9067@unist.ac.kr

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

PE CVD_#1(SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr

PE CVD_#2(TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅱ / FABStar+

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr

RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120

Hyung-il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr