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RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120

Hyung-il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

Rheometer | 레오미터 / Haake MARS Ⅲ - ORM Package

Jong-hoon Bae 052-217-4055 jhoonbae@unist.ac.kr
Equipment location : 107동 107호(Bldg.107, Room 107)

RTP | Rapid Thermal Processing (급속 열처리 시스템) / AW610

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108 building B101 (Nanofabrication center)