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Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120

Hyung Il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

E-beam Evaporator(Temescal) | 전자빔 금속박막증착 장치 / FC-2000

Hyung-il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

E-beam Evaporator(Woosung) | 전자빔 금속박막증착 장치 / WC-4000

Hyung-il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Helios 450HP FIB | 이온집속빔 / Helios NanoLab 450

Mi-sun Cho 052-217-4034 shail019@unist.ac.kr

Quanta 3D FIB | 이온집속빔 / Quanta 3D FEG

Mi-sun Cho 052-217-4034 shail019@unist.ac.kr

RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120

Hyung-il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)