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Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100

Kim Boseong 052-217-4191 mbosing@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium

Hyung Il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

Song-Hee Lee 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Furnace_WET | 열처리 확산로 / KHD-306

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120

Hyung-il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)