이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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E-beam lithography | 전자선 노광장치 시스템 / NB3 |
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Nano Imprinter | 나노임프린트 묘화시스템 / ANT-6HR |
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Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8 |
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Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400S |
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Spin Coater | 감광제 도포기 / JSPD |
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Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200Address : s |
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