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Laser lithography | 레이저 리소그래피 / Picomaster200

Eun Jeong Hwang 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 나노소자공정실

Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8

Eun Jeong Hwang 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400S

Eun Jeong Hwang 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Spin Coater | 감광제 도포기 / JSPD

Eun Jeong Hwang 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)