이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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LP CVD | 저압 화학기상 박막 증착기 / KVL-206Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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