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Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
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Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

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PR Asher | 폴리머 식각장치 / V15-G

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