Equipment

보유장비 리스트
이름 모델 장비이용의뢰서/예약하기

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

Hee-Song Hong 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

Seon Jin Lee 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)