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RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120

Hyung-il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

RTP | Rapid Thermal Processing (급속 열처리 시스템) / AW610

Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108 building B101 (Nanofabrication center)