Hitachi sputter is available. FEI sputter is not working.
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Hitachi sputter 수리 완료되었습니다.
FEI sputter는 로터리 펌프가 11월 18일(월)에 수리 완료되었으나 코팅이 되지 않아 문제 확인 중입니다.
해당 장비가 단종되어 장비 수리에 시일이 많이 소요될 것으로 보입니다.
양해 부탁드립니다.
이경애(kalee@unist.ac.kr)
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Hitachi sputter repair completed.
FEI sputter is investigating the problem as the rotary pump was repaired on Monday, November 18th, but the coating is not done.
The equipment is discontinued, so it seems that it will take a long time to repair the equipment.
Thank you for your understanding.
Lee Gyeong-ae (kalee@unist.ac.kr)
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