안녕하세요, 연구지원본부 기술지원팀 이경애입니다.

FEI sputter 장비 모든 부품이 단종되어 아쉽게도 불용을 결정하게 되었습니다.

현재 B109호에 있는 hitachi sputter 사용 부탁드리며, 권한이 없으신 분들은 메일로 연락주시기 바랍니다.

내년 2025년 새 Sputter를 최대한 빨리 도입하고자 합니다.

그러나 국가 연구 장비 구매에 절차가 있기에 조금 시간이 소요될 수 있으니 양해 바랍니다.

그리고 Hitachi sputter 자율사용에 대해 안내 드립니다.

저 또한 sputter를 계속 사용하고 있습니다. 사실 제가 사용할 때에는 어떠한 error도 발생하지 않습니다.

Hitachi sputter에서 발생하는 error의 95%이상은 진공 불량으로 인한 것으로 챔버 문을 똑바로 닫지 않거나, 오링에 먼지가 끼었을 때, 시편에 분진이 많을 때입니다.

Hitachi sputter는 인간이 아닌 장비이기에 미세하게 감지하오니 사용에 주의 부탁드립니다.

위 사항과 관련하여 더 궁금한 점 있으시면 연락주시기 바랍니다.

감사합니다.

이경애 드림

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Hello, this is Lee Gyeong-ae from UCRF.

All parts of the FEI sputter equipment have been discontinued, so we have decided to discontinue it.

Please use the Hitachi sputter currently in B109, and if you do not have permission, please contact us by email.

We plan to introduce the new sputter as soon as possible next year, 2025.

However, since there is a procedure for purchasing national research equipment, it may take some time, so please understand.

And I will inform you about the self use of the Hitachi sputter.

I am also continuing to use the sputter. In fact, no errors occur when I use it.

More than 95% of errors occurring in Hitachi sputter are due to poor vacuum, such as when the chamber door is not closed properly, when there is dust on the O-ring, or when there is a lot of dust on the specimen.

Since the Hitachi sputter is not a human being, it detects minute details, so please be careful when using it.

If you have any further questions regarding the above, please contact us.

Thank you.

Lee Gyeong-ae