이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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Inspection Microscope | 반도체 검사용 현미경 / DM 4000MEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Lapping | Lapping / LP70Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Laser lithography | 레이저 리소그래피 / Picomaster200Equipment location : 108동 B101호 나노소자공정실 |
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LP CVD | 저압 화학기상 박막 증착기 / KVL-206Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Measurement Microscope | 측정용 현미경 / Axio Scope A1Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStarEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / LabstarEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Normal SEM | 주사전자현미경 / S-3400N(Type Ⅱ)Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Optical Surface Profiler (비접촉식 표면 및 단차 측정기기) | Optical Surface Profiler (비접촉식 표면 및 단차 측정기기) / MicroXAM-800Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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