Self 사용자 : 50 % 대학 : 90 % 타지역 소재 기업 : 120% 적용(단위 : 원)
-
공용장비이용료 구분 장비
(Model)분석 항목 단위 이용료 비고 내부
(70%)외부
(100%)기기
분석실HR-STEM
(JEM-2100F With
Cs Corrector)Imaging, STEM, EDS,EELS hr 140,000 200,000 Grid : 10,000 FE-TEM Imaging, STEM, EDS hr 70,000 100,000 Normal TEM
(JEM-2100)Imaging, STEM, EDS hr 70,000 100,000 Bio-TEM
(JEM-1400)Imaging hr 56,000 80,000 Dual-beam FIB
(Quanta 3D FEG)Milling hr 140,000 200,000 TEM 시편제작 hr 140,000 200,000 Imaging, EBSD hr 42,000 60,000 Dual-beam FIB
(Helios 450 HP)Milling, Image hr 140,000 200,000 Grid:10,000 TEM 시편제작 시료 280,000 400,000 FE-SEM
(Nova NanoSEM)Imaging, EDS hr 42,000 60,000 FE-SEM
(Quanta 200FEG)Imaging, EDS hr 42,000 60,000 High Power XRD
(D/MAX2500V/PC)WAXS hr 35,000 50,000 VT-XRD, In-situ hr 35,000 – High Resoulution XRD
(D8 Advance)Phase Analysis hr 35,000 50,000 XRF
(D8 Tiger)Element Analysis hr 35,000 50,000 Single Crystal XRD
(R-Axis Rapid II)Element Analysis 18hr
(self)100,000 – 600MHz FT-NMR
(VNMRS 600)1H 시료 14,000 20,000 -용매 : 실비정산-Advanced experiment: Soild-state NMR, Nano-probe, 2D, 고온/저온 실험, 1H, 13C 이외 핵종 13C hr 42,000 60,000 2D/1D
Advanced exphr 63,000 90,000 Overnight 12 hr 336,000 480,000 전처리 시료 40,000 40,000 FT-IR
(670-IR/620-IR)Main body
(ATR 모드)hr/시료 21,000
(시간)10,000
(시료)외부 의뢰 시료 중 이물을 찾는 등 시료당 시간이 많이 걸리는 경우, 초과 시간당, 기본 요금의 0.5배를 추가 청구 Main body
(acc. 모드)hr/시료 31,500
(시간)15,000
(시료)Microscope hr/시료 42,000
(시간)20,000
(시료)UV-Vis-NIR
(Cary 5000)UV-Vis-NIR hr/시료 14,000
(1hr)10,000
(시료)DRA/SRA 기본료 10,000 – hr/시료 14,000
(1hr)20,000
(시료)VASRA 기본료 10,000 – hr/시료 14,000
(1hr)20,000
(시료)Fluorometer
(Cary Eclipse)형광분석 hr/시료 14,000 10,000 Zeta Potential
(Nano ZS)전위 측정 hr/시료 14,000 20,000 UPS
(Escalab230)표면분석 hr/시료 63,000 90,000 Depth profile hr/시료 105,000 150,000 400MHz FT-NMR 1H hr/시료 21,000/시간 10,000/시료 용매 : 실비정산
․ 시간 단위 이용수가의 경우, 10분 단위 산정 가능13C 2D/1D Advanced exp. hr 35,000 50,000 overnight 12시간 105,000 150,000 Physisorption Analyzer
Model: ASAP 2420, 2020surface area 시료 42,000 60,000 surface area 및 그외 (meso pore) 시료 56,000 80,000 surface area 및 그외 (micro pore) 시료 70,000 100,000 XPS
(K-alpha)정성 시료 42,000 60,000 소모품:실비정산 Depth 시료 84,000 120,000 VT-STM
(UHV VT 7000)상온분석 hr 15,000
(self)– 기타 hr 20,000
(self)– AFM
(MultimodeV)표면분석 및 멀티모드 hr 35,000 50,000 AFM
(Agilent 5500)표면분석 및 멀티모드 hr 35,000 50,000 AFM-Raman
Confocal Raman
(Alpha300S/Alpha300R)Element Analysis hr 17,500 25,000 Confocal Microscope
(OLS3100)이미지관찰 hr 10,500 15,000 Cryogenic Probe Station
(CRX 4K)측정 hr 10,500 15,000 TOF-SIMS
(TOF SIMS 5)기본료 기본료 70,000 100,000 1시간 초과시별도
(Depth에 한함)
data 재처리 별도Surface Analysis 시료 49,000 70,000 Depth Profile 시료 49,000 70,000 Imaging 시료 49,000 70,000 MALDI-TOF/TOF
(Ultraflex III)MS 시료 21,000 30,000 MS/MS 시료 42,000 60,000 GC/MS/MS
(450-GC & 320-MS)DIP MS 시료 21,000 30,000 GC/MS 시료 42,000 60,000 GC/MS/MS 시료 63,000 90,000 HPLC/MS/MS
(HCT Basic System)ESI MS 시료 21,000 30,000 HR-MS(DART, ESI) 시료 21,000 30,000 MS/MS 시료 42,000 60,000 LC/MS 시료 49,000 70,000 LC/VWD 시료 49,000 70,000 LC/VWD/MS 시료 59,500 85,000 LC/MS/MS 시료 70,000 100,000 GPC/MALS
(Agilent 1200S
miniDAWN TREOS)GPC 시료 21,000 30,000 MALS 시료 35,000 50,000 Element Analyzer
(Flash 2000)C,H,N,S 시료 24,500 35,000 O 시료 28,000 40,000 Thermal Analysis
(TA Q200, Q600, Q800)열분석 시료(기본
(2hr))21,000 30,000 hr 3,500 5,000 Diatometry 열분석 시간 35,000 50,000 BET
(ASAP 2420, ASAP 2020)비표면적분석 Micro 70,000 100,000 Meso 56,000 80,000 UV-Vis-NIR
Microspectrometer
(20/20 PV)Qualitative
analysis기본료 14,000 20,000 hr/시료 14,000/시간 20,000/시료 Spectrofluorometer
(FP-8500ST)Quantum yield hr 14,000 20,000 Minispec
(mq90)정성 및 정량분석 hr 14,000 20,000 Cold-SEM
(S-4800)Imaging hr/시료 42,000 60,000 SU8220 Cold-SEM
(SU8220)Imaging hr/시료 42,000 60,000 Rheometer
(Haake Mars 3)물성측정 기본료
(2hr)28,000 40,000 hr 3,500 5,000 Ion Milling System 단면절단 시료 56,000 80,000 Fluorescence spectometer (FLS920) 형광분석 hr 42,000 60,000 Seebeck coefficient 열전소자측정분석 기본료 (3hr) 14,000 20,000 기본 3시간,
추가 요금 ( 2,500원/ 30분)Low speed saw (Techcut4) Cutting hr 4,900 7,000 Dimple grinder (Gatan-656) Dimpling hr 3,500 5,000 Nano mill (Nano mill 1040) Milling hr 17,500 25,000 Ultramicrotome
(CR-X, EM UC7)상온 SEM 시료 42,000 60,000 상온 TEM 시료 56,000 80,000 저온 TEM 시료 105,000 150,000 PECS Coating (C) 사용횟수 21,000 30,000 Coating (Ti, Ta, Cr) 사용횟수 28,000 40,000 Plunge freezer TEM sample preparation hr 17,500 25,000 PIPS Milling hr 14,000 20,000 Mechanical polishing system(Metprep3) Polishing 시료 3,500 5,000 Low angle ion mill Milling hr 14,000 20,000 Advanced plasma system cleaning 시료 7,000 10,000 Mechanical polishing system(Multiprep) Polishing hr 7,000 10,000 Mounting press Mounting 시료 14,000 20,000 Inverted metallurgical microscope Imaging hr 7,000 10,000 -
공용장비이용료 구분 장비
(Model)분석 항목 단위 이용료 비고 내부
(70%)외부
(100%)나노소자
공정실E-beam lithography
(NB3)공정 2 hr 210,000 300,000 -기본 PMMA 제공
– Data consulting, Job file making, e-beam resist coating, baking 및 develop 무료
– Pattern 의뢰자 제공추가요금 0.5 hr 56,000 80,000 Photo lithography #1 (MA6) 공정 0.5hr 14,700 21,000 개인재료(PR)
사용시:
-1,800(원/30min)할인적용-기본 PR 및 Chemical 제공 (GXR601, AZ5214, AZ4330, nLOF2035, MIF300)
-Spin coater, Wet Station, Oven, Hot plate 무료Photo lithography #2 (MDA400S) 공정 0.5hr 14,700 21,000 개인재료(PR)
사용시:
-1,800(원/30min)할인적용-기본 PR 및 Chemical 제공 (AZ5214, AZ4330, AZ9260, nLOF2035, MIF300)
-Spin coater, Wet Station, Oven, Hot plate 무료Nano Imprinter (ANT-6H) 공정 1회 기준
≤ 2 hr42,000 60,000 – 추가요금 ≤ 1 hr 21,000 30,000 Spin Coater (JSP6D) 공정 1회 기준
≤ 2 hr8,400 12,000 Photolitho/NIL 이용자 무료 Wet Station (Wet Station) Solvent 1회 (1 hr) 21,000 30,000 -기본 chemical 제공 (Acetone, IPA외)
-장기 입실자 무료Acid 1회 (1 hr) 21,000 30,000 -기본 chemical 제공 (Acetone, IPA외)
-장기 입실자 무료Deep Si Etcher (Tegal 200) 공정 1회 105,000 150,000 추가요금 100 um 35,000 50,000 Reactive Ion Etcher (Labstar) 공정 1회 기준 ≤ 30 min 42,000 60,000 30분 이상 진행시 별도 협의 PR Asher(V15-G) 공정 1회 기준 ≤ 30 min 14,000 20,000 30분 이상 진행시 별도 협의 Furnace (KHD-306) 공정 1회 기준 Batch(25장) 210,000 300,000 -습식 산화막: 1 um 기준
-건식 산화막: 0.3 um 기준SAM coater (AVC-150M) 공정 1회 42,000 60,000 Contact angle 측정 무료 DC Sputter
(SRN-120)공정 1회 기준
≤ 500 nm42,000 60,000 특수 타겟 협의 (사용자 준비) 추가요금 ≤ 100 nm 7,000 10,000 layer 추가 21,000 30,000 100 C 21,000 30,000 PE CVD#1 (PEH-600) 공정 1회 63,000 90,000 추가요금
≤ SiO2 1um
≤ Si3N4 0.5 umPE CVD#2 (FABStar-PECVD) 공정 1회 63,000 90,000 추가요금
≤ SiC 1um
≤ Si3N4 0.5 umLP CVD (KVL206) 공정 1회 기준
Batch(25)210,000 300,000 추가요금
≤ D-Ploy 0.2 um
≤ Si3N4 0.5 umRF Sputter
(SRN-120)공정 1회 기준
≤ 30 min63,000 90,000 특수 타겟 협의 (사용자 준비) 추가요금 ≤ 30 min 63,000 90,000 100 C 21,000 30,000 E-beam Evaporator (WC-4000) 공정 1회 기준
≤ 30 min63,000 90,000 -6인치 1장 기준
-재료비 실비 정산(Au, Ag, Pd, Pt 등)
-특수 metal 및 crucible 사용자 준비추가요금 layer 추가 31.500 45,000 100 C 21,000 30,000 Parylene Coater
(Parylene Coater)공정 1회 기준
≤ 5μm70,000 100,000 • 추가요금: 5 ㎛ 이상시 50,000원 Atomic layer deposition
(Lucida D100)공정 1회 기준 105,000 150,000 • 100Å 이상 시 별도 협의 Atomic layer deposition
(Atomic premium CN1)공정 1회 75,000 105,00 • 100Å 이상 시 별도 협의 UHV-CVD (UC-1) 공정 1회 105,000 150,00 E-beam Evaporator (Temescal0-FC-2000) 공정 1회 기준
≤ 500 nm63,000 90,000 -6인치(5장), 4인치(13)
-재료비 실비 정산(Au, Ag, Pd, Pt 등)
-특수 metal 및 crucible 사용자 준비추가요금 layer 추가 31.500 45,000 100 C 21,000 30,000 Measurement Microscope
(Axio Scope A1)측정 1회 기준
≤ 30min7,000 10,000 장기 입실자 무료 Surface Profiler (P-6) 측정 1회 기준
10min4,200 6,000 장기 입실자 무료 Thickness Measurement
(ST4000-DLX)측정 1회 기준
10min4,200 6,000 장기 입실자 무료 4-Point Probe System
(CMT-SR2000N)측정 1회 기준
10min4,200 6,000 장기 입실자 무료 Contact angle measurement
(CAM-100)측정 1회 기준
10min4,200 6,000 장기 입실자 무료 Ellipsometer
(AR06DM)측정 1회 기준
10min4,200 6,000 추가 요금 7,000(원) Substrate Bonder
(SB-6L)후공정 1회 56,000 80,000 Dicing Saw
(AR06DM)후공정 장
(Non pattern)21,000 30,000 추가요금
( > 30 Line),
7,000(원/장)장
(Pattern)28,000 40,000 Normal SEM 미세구조물
프로필 분석시간 28,000 40,000 Dielectric ICP etcher (FABstar) 공정 1회 63,000 90,000 Metal ICP (FABstar) 공정 1회 63,000 90,000 Metal ICP-RIE#2
(Etching)Metal etching 1회 63,000 90,000 Surface & Height
3D profiler
(Measurement)Measure thickness,
roughness, profiler10min 4,200 6,000 Wire bonder wire bonding hr 21,000 30,000 Probe station Probe station hr 28,000 40,000 Low temp 8hr 112,000 160,000 -
공용장비이용료 구분 장비
(Model)분석 항목 단위 이용료 비고 내부
(70%)외부
(100%)환경분석
센터HRMS
(Autospec premier)HRMS 시료 210,000 300,000 정량분석 시 std는 시료수에 포함 POPs 분석 배출가스 – 4,000,000 -울산지역 20% 할인
-추가 3개까지 30% 할일
일반대기 – 2,200,000 -울산지역 20% 할인
-추가 4개 이상부터 별도 협의
-출장비 포함수질 – 2,000,000 토양 – 2,000,000 GC/MS
(Agilent 7890A/5975C)GC/MS 시료 42,000 60,000 ICP/MS
(ELAN DRC-II)Element Analysis 시료
(1원소)35,000 50,000 기본 1개 원소
추가원소 분석 시 5,000/원소전처리 시료 21,000 30,000 GC/ECD
(7890A/u-ECD)GC 시료 35,000 50,000 PCB 분석 시료 – 100,000 -기술료 10만원/4시간
-추가시료는 별도협의
-출장비는 실비청구LC/MS/MS
(Xevo TQ-S)정량분석 시료 70,000 100,000 정량분석 시 std는 시료수에 포함 ICP-OES
(720-ES)Element Analysis 시료 17,500 25,000 기본 3개 원소
추가원소 분석 시 3,000원/원소전처리 시료 21,000 30,000 -
공용장비이용료 구분 장비
(Model)분석 항목 단위 이용료 비고 내부
(70%)외부
(100%)기기
가공실CNC 5-Axis Machining
(C40U)정밀 가공 건 49,000 70,000 재료비 별도
Design 별도CNC 3-Axis Machining
(B300V)정밀 가공 건 35,000 50,000 CNC late
(TPL-6)정밀 원통가공 hr 21,000 30,000 Lathe
(TIPL-410)원통가공 hr 10,500 15,000 Vertical Milling Machine
(STM-2VM)평면가공 hr 10,500 15,000 CNC Surface Grinding
(DSG-630)정밀 평면가공 hr 21,000 30,000 재료비 별도
Design 별도Metal Cutting
Band Saw
(KDBS-200)소재절단 건 3,500 5,000 재료비 별도
Design 별도Electro Discharge
Machine(znc200m)형상방전가공 hr 21,000 30,000 재료비 별도
Design 별도Coordinate Measuring Machine(pgs) 정밀 측정 hr 14,000 20,000 설계비 별도 Three-Dimensional Measurement
(NV-3000)3차원 측정 hr 14,000 20,000 설계비 별도 Semi Auto Formtracer
System
(SC-V3100)정밀 측정 hr 14,000 20,000 설계비 별도 Mult-Component
Dynamometer
(2825A)정밀 측정 hr 14,000 20,000 설계비 별도 Laser Interferometer
(XL-80)정밀 측정 hr 14,000 20,000 설계비 별도 Powerful Microscope
(MF-1010B)정밀 측정 hr 14,000 20,000 설계비 별도 Mini lathe & Milling
(ML-360)소형
공작물가공건 3,500 5,000 재료비 별도
Design 별도Bench Drilling Machine
(MD-360)구멍가공 건 3,500 5,000 재료비 별도
Design 별도Plotter
(HP Z6200)종이(paper) 건 A0: 30,000
A1: 20,000
A2: 10,000– 천(Fabric) 건 A0: 35,000
A1: 25,000
A2: 12,000– Universal Testing Machine
(AGS-100NX)정밀 측정 hr 14,000 20,000 설계비 별도 Electron-Beam PIKA Machine(PF32B) 표면가공 hr 28,000 40,000 재료비 별도
Design 별도Ultra- Precision Nano Machine
(FANUC ROBONANO α – 0iB)정밀 가공 건 70,000 100,000 재료비 별도
Design 별도3D Print
(sPro TM 60SD SLS Center)시제품 제작 건 28,000 40,000 재료비 별도 Laser Cutting Machine
(K2CMS1)정밀 커팅 0.5hr 21,000 30,000 재료비 별도
Design 별도3D Scanner
(REXCAN DS2)정밀 측정 hr 14,000 20,000 설계비 별도 Wire-Cut EDM
(SL400G)정밀 커팅 hr 28,000 40,000 재료비 별도
Design 별도Welding
(350A)제품 접합 hr 10,500 15,000 재료비 별도
Design 별도초음파 가공기
(20 Liner)특수가공 hr 56,000 80,000 일반가공 hr 35,000 50,000 설계비
(모델링 작업)CAM 0.5 hr 10,500 15,000 Modeling (Design) 0.5 hr 10,500 15,000 복합가공기
(가공)선반가공 hr 40,000 52,000 재료비,설계비 별도 복합가공 hr 45,000 53,500 재료비,설계비 별도 -
공용장비이용료 구분 장비
(Model)분석 항목 단위 이용료 비고 내부
(70%)외부
(100%)생체효능검증센터 LC/MS/MS
(Orbitrap Elite)Protein Identify Sample 140,000 210,000 Phophopeptide Site Determination Sample 233,000 333,000 In-Gel Digestion Sample 21,000 30,000 1D SDS-PAGE
Mini Gel / Silver StainingGel 56,000 80,000 1D SDS-PAGE
Mini Gel / Colloidal StainingGel 49,000 70,000 1D SDS-PAGE
Gradient Gel / Silver StainingGel 98,000 140,000 1D SDS-PAGE
Gradient Gel / Colloidal StainingGel 84,000 120,000 IVC System
(#5-112-8-
14-1-4-5BMAL)마우스 사육 (더블, 싱글)
케이지․일 700 1,000 랫 사육 (더블, 싱글)
케이지․일 980 1,400 IVC System (Isolation Zone)
(#5-112-8-14-1-4-5BMAL)마우스 사육 (더블, 싱글)
케이지․일 1,400 – 랫 사육 (더블, 싱글)
케이지․일 1,820 – 마취 처방전 건 5,000 – 수의사 처방전발행 기본실험
기타질환모델 제작 hr 30,000 – 항목명 변경
종양모델 제작에서 질환모델 제작으로 변경기타수술 및 실험지원 hr 30,000 – 해부 실습 회 50,000 – 동물 포함 배아 동결 및 이식 실험 배아 동결 보존 품종/개월 10,000 14,000 수정란 200개 배아 동결 분양 마리 50,000 70,000 기본 2pairs 배아 이식 품종 350,000 500,000 미생물모니터링 포함, 관련운송비 불포함 동물 청정화 품종 800,000 1,100,000 대리모 이식 후 4주령 산자 제공
(미생물모니터링 포함, 관련운송비 불포함)유전자 클로닝 지원 cell based 발현 벡터 제작 건 70,000 – 유전자 변형 mouse 벡터 제작 건 5,000,000 – 행동분석 장비 비디오분석 시간 8,900 12,700 운동감각기능평가 시간 8,900 12,700 조직병리장비 Tissue-processor 시간 42,000 60,000 Paraffin embedding center 시간 4,900 7,000 Microtome 시간 6,300 9,000 Cryostat 시간 6,300 9,000 H&E 염색 건 32,200 46,000 영상분석장비 MRI 시간 73,000 104,000 micro CT 시간 42,000 60,000 In Vivo optical Imaging system 시간 49,000 70,000 데이터 분석료 시간 7,000 10,000 행동분석실 공간사용료 시간 65,800 9,400 -
공용장비이용료 구분 장비
(Model)분석 항목 단위 이용료 비고 내부
(70%)외부
(100%)바이오메드
이미징실Confocal SIM Scan (FV1000) 이미지촬영 hr 35,000 50,000 ZDC Mircoscope
(Cell R)이미지촬영 hr 21,000 30,000 TIFRM System
(Cell TIRFM)이미지촬영 hr 49,000 70,000 Virtual Microscopy
(DOT/SLID)이미지촬영 hr 14,000 20,000 Confocal Microscopy
(FV10i)이미지촬영 hr 21,000 30,000 Inverted Microscopy
(IX-71)이미지촬영 hr 14,000 20,000 Bio Imaging Navigator
(FSX-100)위상차, 형광이미지 촬영 hr 14,000 20,000 Macroview
(MVX10)형광이미지 촬영 hr 14,000 20,000 MetaMorph/AutoQuantX 이미지분석 소프트웨어 – – – 무료 Super Resolution Microscope
(SIM)Imaging Analysis hr 70,000 100,000 Super Resolution Microscope
(PLAM)Imaging Analysis hr 70,000 100,000 Calcium Imaging Microscope System Imaging Analysis hr 21,000 30,000 Multi-Photon Microscopy Imaging Analysis hr 49,000 70,000 Laser Capture Microdissection Imaging Analysis hr 21,000 30,000 LSM (780NLO) Imaging Analysis hr 70,000 100,000 Super Resolution (SIM & PALM) Imaging Analysis hr 70,000 100,000 Light Sheet Microscope Imaging Analysis hr 70,000 100,000 -
공용장비이용료 구분 장비
(Model)분석 항목 단위 이용료 비고 내부
(70%)외부
(100%)방사광활용
연구실UNIST-PAL Beamline XRD Day 1,260,000 1,800,000 SAXS Day 1,260,000 1,800,000 XAFS Day 1,260,000 1,800,000 X-ray Crystallography Day 1,260,000 1,800,000 제어/계측 프로그래밍 Day 1,260,000 1,800,000 건은 일주일 40시간 업무기준임 데이터 처리/분석 프로그래밍 Day 1,260,000 1,800,000 건은 일주일 40시간 업무기준임