보유장비 리스트

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E-beam lithography | 전자선 노광장치 시스템 / NB3 이루다 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8 황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400S 황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Spin Coater | 감광제 도포기 / JSPD 황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200 황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)	분석의뢰 예약하기