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E-beam lithography | 전자선 노광장치 시스템 / NB3

이루다 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Nano Imprinter | 나노임프린트 묘화시스템 / ANT-6HR

김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400S

김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Spin Coater | 감광제 도포기 / JSPD

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)