보유장비 리스트

이름	모델	장비이용의뢰서/예약하기
Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100 김보성 052-217-4191 mbosing@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar 홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Furnace_WET | 열처리 확산로 / KHD-306 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기