보유장비

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Advanced Plasma System | 플라즈마 시스템 / Gatan-960

이경애 052-217-4163 kalee@unist.ac.kr

Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr

DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

Electron-Beam PIKA Machine / PF32A

차재훈 052-217-4069 cjh614@unist.ac.kr

FEI Sputter / EMITECH K575X

최인녕 052-217-4058 choiin@unist.ac.kr

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr

PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr

PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr