보유장비 리스트

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PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
PE CVD_#2 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅱ / PEH-600 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+ 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8 황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Photolitho_MA6_#2 | 마스크 정렬노광기 / MA6 황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400S 황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Plasma Treatment System | 폴리머 건식 식각기 / V15-G 이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
RTP | Rapid Thermal Processing (급속 열처리 시스템) / AW610 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108 building B101 (Nanofabrication center)	분석의뢰 예약하기
Schottky FE-SEM with e-beam attachment | 쇼트키 전계방출전자현미경과 부착형 이빔리소그래피 / SU5000/ELPHY Multibeam 이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : Room B101, Building 108(UNFC)	분석의뢰 예약하기