Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기
| 연구실/분야 | |||
|---|---|---|---|
| 모델명 | FABStar | ||
| 제조사 | TTL | ||
| 담당자 | 김민재 | ||
| 연락처 | 052-217-4064 / mjkim@unist.ac.kr | ||
| 예약 가능여부 | 가능 | ||
| 예약단위 | 30min | 1일최대예약시간 | 3Hr |
| 예약Open(~일 전) | 14Days | 예약취소불가(~일 전) | 2Hr전 |
| 장비위치 | 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) | ||
-
Description
유도결합 플라즈마와 가스를 이용하여 Al, Ti, Cr, Au 와 같은 재료를 식각하기 위해서 설계된 장치이다.
This eqipment is designed for etching metals like Al, Ti, Cr, Au
-
Specifications
-Process gas : CF4, SF6, Cl2, BCl3, HBr, Ar, O2, N2
-Sample : Standard 150 mm (6 inch)
• Al etch
-Etch rate > 2000 Å/min
-Selectivity (PR) > 2:1
-Uniformity > 95% (150mm)
-Profile angle > 90 ± 5 degree
• Cr
-Etch rate <300 Å/min
-Selectivity (PR) <0.5:1
-Uniformity >95% (150mm)
-Profile angle > 90 ± 5 degree
-
Applications
Al, Ti, Cr, Au (Except Cu, Ni)