보유장비 리스트

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Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar Hee-Song Hong 052-217-4194 armada@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	Request of Analysis Reservation
Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar Seon Jin Lee 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	Request of Analysis Reservation