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TEOS LPCVD | 테오스 저압화학기상증착기 / VULCAN-V61RL Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	Request of Analysis Reservation
Thickness measurement | 박막 두께 측정기 / ST4000-DLX Song-Hee Lee 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	Request of Analysis Reservation