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Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100 Kim Boseong 052-217-4191 mbosing@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	Request of Analysis Reservation
Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium Hae-ra Kang 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	Request of Analysis Reservation