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XeF2 etcher | XeF2 etcher (지논다이플로라이드 에쳐) / XeF2 Etch System

Kang O Kim 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) | 패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) / NRPC-500

Hyung Il Kim 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 자연과학관 108동 B101호 나노소자공정실