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FE-SEM with E-beam lithography attachment | 쇼트키 전계방출전자현미경과 부착형 이빔리소그래피 / SU5000/ELPHY Multibeam Song-Hee Lee 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : Room B101, Building 108(UNFC)	Request of Analysis Reservation