Equipment

SU8220 Cold FE-SEM | 저온전계방출형주사전자현미경

보유장비 관련 정보
Laboratory/Field
Model SU8220
Maker Hitachi High-Technologies
Technician Gyeong Ae Lee
Contact 052-217-4163 / kalee@unist.ac.kr
Status for Reservation 가능
Reservation Unit 0.5hr Maximum Time (per day) 2hr
Open(~ago) 5일전 Cancel (~ago) 2시간전
Equipment location Bldg.102, Room B115(샘플 보낼 주소: 울산광역시 울주군 언양읍 유니스트길 50, 울산과학기술원 102동 201-5호)
  • Description

    • 의뢰 시 참고 사항
    1. [Request of Analysis] 혹은 [장비의뢰] 누른 후 분석의뢰서 작성
    2. 분석 목적을 선택하여 작성
    1) 입자 크기 측정 2) 입자 모양 측정 3) 피막 두께 측정 4) EDS 정량 분석 5) 그 외
    3. Pt 코팅 필요 여부 및 조건 입력(예: 20mA, 2분)
    4. 장비담당자가 예약 일정을 메일로 보내드립니다.(예약제이므로 약 2주 소요)
    5. 분석 일정 전에 담당자가 받을 수 있도록 시편을 보내거나, 의뢰자가 분석 일정에 방문하여 함께 분석 가능
    6. 시료 준비(시료와 분석목적에 따라 달라질 수 있음)
    1) 분말: 용액에 분산하여 기판 위에 올려서 말림(기판 사이즈 1cm x 1cm 이내)
    2) 그 외는 1cm x 1cm X 2cm(H) 이내로 준비
    7. 시료 갯수: 한번에 최대 2시간 예약 가능
    8. 시료명은 일련의 숫자로 표기 부탁드립니다.

    자율사용자 교육 신청 방법
    1. 연구실 내에서 교육 받아 바로 장비 사용이 가능하신 분은 이메일로 시험 신청 바랍니다.
    2. 기기분석실 5대의 SEM 특징 확인 및 장비 선택(무분별한 신청 금지)
    3. 연구지원본부 홈페이지 첫 화면 오른쪽 상단에 Education & Seminar에서 장비 교육 일정을 확인
    4. 교육 일정 2주 전 오전 9시에 교육 신청 가능
    - 교육 당일 메뉴얼 지참하여 참석
    5. EDS 교육도 같은 방법으로 신청 가능
    6. SEM 교육 및 분석 일정 상 상시 교육은 불가능합니다.

    • How to apply for self-user training
    1. If you have received training in the lab and can use the equipment right away, please apply for the test by email.
    2. Confirmation of SEM characteristics and equipment selection of 5 in UMCL.
    3. Check the equipment training schedule in Education & Seminar at the top right of the first screen of the UCRF website.
    4. You can apply for training at 9 a.m. two weeks before the date of training.
    - Attend the training day with the manual.
    5. You can apply for EDS training in the same way.
    6. Only regular training is available due to the SEM training and analysis schedule.

  • Specifications

    • Resolution : 0.8nm at 15kV, 1.1nm at 1kV (Deaceleration mode)

    • Magnification : LM 20 ~ 2,000X, HM 100 ~ 800,000X

    • Accelerate Voltage : 0.1 ~ 30kV(0.1kV/step)

    • Detector : SE, HA-BSE, LA-BSE, EDS

    • Electrical image shift : ±12㎛(WD=8mm)

    • Electron gun : cold cathode field emission electron source

    • Contamination Prevention : Anti-contamination trap

    • Traverse : XY axis 50mm X 50mm

    * EDS

    - Manufacturing company: AMETEK EDAX

    - Model: OCTANE PLUS

    - Active area: 30mm^2

    - B(5) ~ Th(90)

  • Applications

    • Secondary electron image

    • Energy dispersive spectroscopy (EDS)

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