Equipment

Cold FE-SEM | 저온주사전자현미경

보유장비 관련 정보
Laboratory/Field
Model S-4800
Maker Hitachi High-Technologies
Technician Gyeong Ae Lee
Contact 052-217-4163 / kalee@unist.ac.kr
Status for Reservation 불가능
Reservation Unit 0.5hr Maximum Time (per day) 2hr
Open(~ago) 5일전 Cancel (~ago) 2시간전
Equipment location 102동 B110호(Bldg.102, Room B110)
  • Description

    • 자율사용전용(의뢰 불가)
    - SU8220 Cold FE-SEM 장비로 SEM 분석 의뢰 부탁드립니다.

    • 자율사용자 교육 신청 방법
    1. 연구실 내에서 교육 받아 바로 장비 사용이 가능하신 분은 이메일로 시험 신청 바랍니다.
    2. 기기분석실 5대의 SEM 특징 확인 및 장비 선택
    3. 연구지원본부 홈페이지 첫 화면 오른쪽 상단에 Education & Seminar에서 장비 교육 일정을 확인
    4. 교육 일정 2주 전 오전 9시에 교육 신청 가능
    - 교육 당일 메뉴얼 지참하여 참석
    5. EDS 교육도 같은 방법으로 신청 가능
    6. SEM 교육 및 분석 일정 상 상시 교육은 불가능합니다.

    • For self-user use only (No requests)
    - Please request SEM analysis using the SU8220 Cold FE-SEM equipment.

    • How to apply for self-user training
    1. If you have received training in the lab and can use the equipment right away, please apply for the test by email.
    2. Confirmation of SEM characteristics and equipment selection of 5 in UMCL.
    3. Check the equipment training schedule in Education & Seminar at the top right of the first screen of the UCRF website.
    4. You can apply for training at 9 a.m. two weeks before the date of training.
    - Attend the training day with the manual.
    5. You can apply for EDS training in the same way.
    6. Only regular training is available due to the SEM training and analysis schedule.

  • Specifications

    • Electron gun

    : cold cathode field emission electron source

    • Resolution

    - < 1.0 nm @15 kV

    • Magnification

    - LM 20 ~ 2,000 x, HM 100 ~ 800,000 x

    • Accelerate voltage : 0.1 ~ 30 kV (0.1 kV/step)

    • Electrical image shift : ± 12μm (WD = 8 mm)

  • Applications

    • Secondary electron image

    • Energy dispersive spectroscopy (EDS)

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