Equipment

AFM | 원자힘 현미경

보유장비 관련 정보
Laboratory/Field
Model Park NX20
Maker 파크시스템스
Technician Hae-ra Kang
Contact 052-217-4167 / haera@unist.ac.kr
Status for Reservation 가능
Reservation Unit 0.5 Maximum Time (per day) 4시간
Open(~ago) 14일전 Cancel (~ago) 2시간전
Equipment location UNIST 108동 B101호
  • Description

    본 장비는 클린룸 내 설치된 원자현미경으로, 나노~마이크로 스케일 소자의 단차 및 거칠기 등 표면 특성 측정에 사용됩니다.
    탐침과 시료 간 원자 간 힘을 이용해 nm 이하 정밀도로 3D 형상을 분석할 수 있으며, 다양한 시료를 대기 중에서도 고해상도로 관찰할 수 있습니다.
    Z축과 XY축 스캐너는 분리되어 상호 간섭을 최소화하며, Contact, True Non-Contact, Tapping 모드를 지원합니다.

    ※ 연구지원본부(공정가공지원팀) 나노팹 제작 소자의 단차 및 표면 거칠기 측정에 활용됩니다.
    ※ 파우더 타입 시료는 측정이 불가합니다.

    ※ 나노팹 출입권한이 있는 학생(안전교육 이수자)에 한하여 셀프 유저 교육이 가능하며, 별도의 측정 의뢰는 지원하지 않습니다. 양해 부탁드립니다.

  • Specifications

    - 측정 Resolution : 0.01nm 이하

    - 샘플 사이즈 : ~ 6"(150mm x 150mm)

    - 스캔 사이즈 : 250nm ~ 100㎛

    - 수평(XY) 스캐너 측정영역 : 최대 100㎛ x 100㎛

    - 분리형 수직(Z) 스캐너 측정 영역 : 최대 15㎛

    - Z Resonant Frequency: 9 kHz

    - 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 5MHz

  • Applications