보유장비

Wet station_Solvent#2 | 습식세정장치 유기#2

보유장비 관련 정보
연구실/분야
모델명 Wet station
제조사 Changshintech
담당자 김강오
연락처 052-217-4182 / ko8809@unist.ac.kr
예약 가능여부 가능
예약단위 30min 1일최대예약시간 3hr
예약Open(~일 전) 2week 예약취소불가(~일 전) 2Hr
장비위치 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)
  • Description

    포토레지스트, 시료 표면 습식 세정공정 (유기용제)
    최대 8인치 공정 가능 (물중탕 가열 가능)
    아세톤, 이소프로판올 등의 유기용제 사용 가능

    PR, Surface wet cleaning (Solvent chemical)
    Max. 8inch process (double bath heating)
    Acetone, 2-propanol etc.

  • Specifications

    • Chemical supply : Manual

    • Chemical temp. : ~40

    • Solvent bath : 1set, heater (~40℃)

    • 1 QDR bath, 1 Rinse bath, 1 Drain Cup

    • Touch pad control

  • Applications

    • PR cleaning

    • Organic particle cleaning

    • Lift off process