보유장비

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CS-STEM | 수차보정 주사투과전자현미경 / JEM-ARM300F

이종훈 052-217-4171 jonghoon@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B102호 (Bldg.108, Room B102)

DART-HRMS / AccuTOF 4G+ DART

서현경 052-217-4183 seohk26@unist.ac.kr
Equipment location : 102동 B103-5호 (Bldg.102, Room.B103-5)

DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dicing Saw | 기판 절단장치 / AR06DM

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dicing saw#2 | 기판절단장치 / NDS-1012

홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 자연과학관(108동) B101호

Dielectric ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 산화막 건식 식각기 / FABstar

홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dilatometry | 고온용 팽창 계수 측정기 / DIL-402C

서현경 052-217-4183 seohk26@unist.ac.kr
Equipment location : 102동 B111호(Bldg.102, Room B111)

dimension AFM 2 | 주사탐침현미경-디맨션 / Dimension ICON

임동주 052-217-4032 djlim@unist.ac.kr
Equipment location : 울산광역시 울주군 언양읍 유니스트길 50, 102동 B113