이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101) |
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Surface profiler | 박막 단차 측정기 / P6Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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TEOS LPCVD | 테오스 저압화학기상증착기 / VULCAN-V61RLEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Thickness measurement | 박막 두께 측정기 / ST4000-DLXEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wet station_Acid#1 | 습식세정장치_산#1 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wet station_Acid#2 | 습식세정장치 산#2 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wet station_Acid#3 | 습식세정장치 산#3 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wet station_Alkari | 습식세정장치 염기 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wet station_Solvent#1 | 습식세정장치 유기#1 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Wet station_Solvent#2 | 습식세정장치 유기#2 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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