보유장비

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SAM coater | 기상 자기조립 박막 증착기 / AVC-150

김형일 052-217-4065 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Spin Coater | 감광제 도포기 / JSPD

배고명 052-217-4189 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200

배고명 052-217-4189 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Substrate Bonder | 기판 접합 장치 / SB6L

김민재 052-217-4064 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Surface profiler | 박막 단차 측정기 / P6

이선진 052-217-4193 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Thickness measurement | 박막 두께 측정기 / ST4000-DLX

이선진 052-217-4193 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

UHV CVD | 초고진공 화학기상 증착기 / UHV-CVD

김형일 052-217-4065 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Wet station_Acid | 습식 세정장치 / Wet Station

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Wet station_Alkari / Wet station

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Wet station_CMOS / Wet station

김강오 052-217-4182 [email protected]
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)