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Schottky FE-SEM with e-beam attachment | 쇼트키 전계방출전자현미경과 부착형 이빔리소그래피 / SU5000/ELPHY Multibeam

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : Room B101, Building 108(UNFC)

Spin Coater | 감광제 도포기 / JSPD

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Surface profiler | 박막 단차 측정기 / P6

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

TEOS LPCVD | 테오스 저압화학기상증착기 / VULCAN-V61RL

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Thickness measurement | 박막 두께 측정기 / ST4000-DLX

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Wet station_Acid#1 | 습식세정장치_산#1 / Wet station

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Wet station_Acid#2 | 습식세정장치 산#2 / Wet station

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Wet station_Acid#3 | 습식세정장치 산#3 / Wet station

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Wet station_Alkari | 습식세정장치 염기 / Wet station

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)