보유장비 리스트

이름	모델	장비이용의뢰서/예약하기
Schottky FE-SEM with e-beam attachment | 쇼트키 전계방출전자현미경과 부착형 이빔리소그래피 / SU5000/ELPHY Multibeam 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : Room B101, Building 108(UNFC)	분석의뢰 예약하기
Spin Coater | 감광제 도포기 / SPIN-3000A 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Surface profiler | 박막 단차 측정기 / P6 김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
TEOS LPCVD | 테오스 저압화학기상증착기 / VULCAN-V61RL 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Thickness measurement | 박막 두께 측정기 / ST4000-DLX 김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Wet station_Acid#1 | 습식세정장치_산#1 / Wet station 김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Wet station_Acid#2 | 습식세정장치 산#2 / Wet station 김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Wet station_Acid#3 | 습식세정장치 산#3 / Wet station 김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Wet station_Alkari | 습식세정장치 염기 / Wet station 김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기