이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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PE CVD_#2 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅱ / PEH-600Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Photolitho_MA6_#2 | 마스크 정렬노광기 / MA6Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101) |
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Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400SEquipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101) |
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Plasma Treatment System | 폴리머 건식 식각기 / V15-GEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101) |
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RTP | Rapid Thermal Processing (급속 열처리 시스템) / AW610Equipment location : 108 building B101 (Nanofabrication center) |
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Schottky FE-SEM with e-beam attachment | 쇼트키 전계방출전자현미경과 부착형 이빔리소그래피 / SU5000/ELPHY MultibeamEquipment location : Room B101, Building 108(UNFC) |
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Spin Coater | 감광제 도포기 / JSPDEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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