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PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PE CVD_#2 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅱ / PEH-600

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Photolitho_MA6_#2 | 마스크 정렬노광기 / MA6

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400S

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

PR Asher | 폴리머 식각장치 / V15-G

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PR Asher#2 | 폴리머 건식 식각기 / V15-G

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

RTP | Rapid Thermal Processing (급속 열처리 시스템) / AW610

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108 building B101 (Nanofabrication center)