Coxem Sputter 1 | Coxem Sputter 1

| 연구실/분야 | |||
|---|---|---|---|
| 모델명 | SPT-20 | ||
| 제조사 | COXEM | ||
| 담당자 | 이종훈 | ||
| 연락처 | 052-217-4171 / jonghoon@unist.ac.kr | ||
| 예약 가능여부 | 가능 | ||
| 예약단위 | 10분 | 1일최대예약시간 | |
| 예약Open(~일 전) | 예약취소불가(~일 전) | ||
| 장비위치 | 102동 B109호 (Bldg.102, Room B109) | ||
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Description
Sputter system employs a magnetron target assembly, which enhances the efficiency of the process using low voltages and giving a fine-grain, cool sputtering.
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Specifications
Pt target
Current: 0~9 mA
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Applications
Pretreatment of non-conductive samples