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PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PE CVD_#2 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅱ / PEH-600

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Photolitho_MA6_#2 | 마스크 정렬노광기 / MA6

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400S

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Plasma PR Stripper | Plasma PR Stripper (플라즈마 감광제 제거기) / PTP300

홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호

Plasma Treatment System | 폴리머 건식 식각기 / V15-G

홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

RTP | Rapid Thermal Processing (급속 열처리 시스템) / AW610

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108 building B101 (Nanofabrication center)