보유장비

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Lapping | Lapping / LP70

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

LP CVD | 저압 화학기상 박막 증착기 / KVL-206

석주희 052-217-4190 seok199407@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Measurement Microscope | 측정용 현미경 / Axio Scope A1

김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStar

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Nano Imprinter | 나노임프린트 묘화시스템 / ANT-6HR

김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Normal SEM | 주사전자현미경 / S-3400N(Type Ⅱ)

이루다 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Optical Surface Profiler (비접촉식 표면 및 단차 측정기기) | Optical Surface Profiler (비접촉식 표면 및 단차 측정기기) / MicroXAM-800

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Parylene Coater | 페럴린 증착장치 / -

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)