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Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStar

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Nano Imprinter | 나노임프린트 묘화시스템 / ANT-6HR

김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Normal SEM | 주사전자현미경 / S-3400N(Type Ⅱ)

이루다 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Optical Surface Profiler (비접촉식 표면 및 단차 측정기기) | Optical Surface Profiler (비접촉식 표면 및 단차 측정기기) / MicroXAM-800

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Parylene Coater | 페럴린 증착장치 / -

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PE CVD_#2 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅱ / PEH-600

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)