보유장비 리스트

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HSC Sputter | 고단차피복 박막증착기 / SRN-130 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : NSB 108 Bldg. B101	분석의뢰 예약하기
Inspection Microscope | 반도체 검사용 현미경 / DM 4000M 김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Lapping | Lapping / LP70 이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Laser lithography | 레이저 리소그래피 / Picomaster200 황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 나노소자공정실	분석의뢰 예약하기
LP CVD | 저압 화학기상 박막 증착기 / KVL-206 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Measurement Microscope | 측정용 현미경 / Axio Scope A1 김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStar 김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380 김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Optical Surface Profiler (비접촉식 표면 및 단차 측정기기) | Optical Surface Profiler (비접촉식 표면 및 단차 측정기기) / MicroXAM-800 김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600 김보성 052-217-4191 mbosing@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기