패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) | 패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system)
| 연구실/분야 | |||
|---|---|---|---|
| 모델명 | NRPC-500 | ||
| 제조사 | 누리텍 | ||
| 담당자 | 황은정 | ||
| 연락처 | 052-217-4192 / hej9204@unist.ac.kr | ||
| 예약 가능여부 | 가능 | ||
| 예약단위 | 6 | 1일최대예약시간 | 8 |
| 예약Open(~일 전) | 2 | 예약취소불가(~일 전) | 1 |
| 장비위치 | 자연과학관 108동 B101호 나노소자공정실 | ||
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Description
- 패럴린 코팅은 상온에서 표면에 직접 생성 되는 독특한 특성으로 인해 화학적으로 안정적이며, 탁월한 보호막을 형성하여 전자, 우주항공, 의료, 엔지니어링 등 장치 부품 및 표면 보호를 위한 궁극적인 conformal 코팅이 가능함
- 본 장비의 도입을 통해 기관 내 구성원 뿐 만 아니라 타 대학, 연구소, 기업체 등 외부 이용자들에게 원활한 코팅 공정을 제공함.
- 전자 기기용 시험 제품의 보호 코팅, 제작된 풍향 센서의 안정성 확보, 반도체 장치 보호 코팅, 열교환기 방습/방진 코팅, 바이오/MEMS 제작 칩 보호 코팅 등에 적용될 것으로 판단됨. -
Specifications
1. Vacuum chamber unit
- Chamber material: Sus304
- Chamber inner size: D400 x H500(mm)
- Door open/close: Manual screw handle type or lever handle type
- MC frame: Chamber & system frame
2. Vacuum control unit
- Vacuum pump: BOC Edward/ rotary pump
- Chiller(cooler): Max –90℃ [t-type thermocouple]
3. Dimer evaporation and pyrolizer control unit
- Evaporation(vapor heater): Max 250℃
- Pyrolizer(furnace heater): Max 1000℃
4. Adhesion promoter
- A.P heater: Max 140℃[k-type thermocouple]
5. Operation and system control
- Operation: Manual/auto operation by HMI or industrial panel touch PC
- Historical data management system: temperature, vacuum pressure, control system and fault
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Applications