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PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+

석주희 052-217-4190 seok199407@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

SAM coater | 기상 자기조립 박막 증착기 / AVC-150

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

UHV CVD | 초고진공 화학기상 증착기 / UHV-CVD

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) | 패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) / NRPC-500

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 자연과학관 108동 B101호 나노소자공정실