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E-beam Evaporator(Temescal) | 전자빔 금속박막증착 장치 / FC-2000

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

E-beam Evaporator(Woosung) | 전자빔 금속박막증착 장치 / WC-4000

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

E-beam lithography | 전자선 노광장치 시스템 / NB3

이루다 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Ellipsometer | 박막 두께 측정기 / Elli-SE-UaM8

이루다 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Furnace_DRY | 불순물 주입 확산로 / KHD-306

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Furnace_WET | 열처리 확산로 / KHD-306

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

HSC Sputter | 고단차피복 박막증착기 / SRN-130

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : NSB 108 Bldg. B101

Inspection Microscope | 반도체 검사용 현미경 / DM 4000M

김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

LP CVD | 저압 화학기상 박막 증착기 / KVL-206

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Measurement Microscope | 측정용 현미경 / Axio Scope A1

김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)