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RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

TEOS LPCVD | 테오스 저압화학기상증착기 / VULCAN-V61RL

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) | 패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) / NRPC-500

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 자연과학관 108동 B101호 나노소자공정실