이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101) |
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TEOS LPCVD | 테오스 저압화학기상증착기 / VULCAN-V61RLEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) | 패럴린 코팅 시스템(Auto parylene coating system) / NRPC-500Equipment location : 자연과학관 108동 B101호 나노소자공정실 |
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