이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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Pressor | 압력기 / press X |
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Quanta 3D FIB | 이온집속빔 / Quanta 3D FEG |
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Quanta200 FE-SEM | 전계방출형주사전자현미경 / Quanta 200FEGEquipment location : 102동 B110호(Bldg.102, Room B110) |
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RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101) |
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Rheometer | 레오미터 / Haake MARS Ⅲ - ORM PackageEquipment location : 107동 107호(Bldg.107, Room 107) |
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RTP | Rapid Thermal Processing (급속 열처리 시스템) / AW610Equipment location : 108 building B101 (Nanofabrication center) |
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Schottky FE-SEM with e-beam attachment | 쇼트키 전계방출전자현미경과 부착형 이빔리소그래피 / SU5000/ELPHY MultibeamEquipment location : Room B101, Building 108(UNFC) |
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SDT | 열중량분석기 / Q600Equipment location : 102동 B111호(Bldg.102, Room B111) |
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Seebeck Coefficient analysis (SBA458) | 열전특성평가장치 / SBA 458 Nemesis®Equipment location : 102동 B111호(Bldg.102, Room B111) |
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Semi Auto Formtracer System | 조도형상 측정기 / 525-421k-1Equipment location : 107동 110호 (Bldg.107, Room.110) |
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