보유장비

PECS | 고해상도코팅기

PECS
보유장비 관련 정보
연구실/분야
모델명 Gatan model 682
제조사 Gatan
담당자 조미선
연락처 052-217-4034 / shail019@unist.ac.kr
예약 가능여부 가능
예약단위 1일최대예약시간
예약Open(~일 전) 예약취소불가(~일 전)
  • Description

    PECS is the ideal instrument for application requiring sample cleaning or etching followed by high-resolution sputter coating.

  • Specifications

    • Ion guns : One penning ion guns

    • Ion beam energy : 1.0 keV to 10.0keV

    • Etched area : About 7mm - 10mm dependent on gun energy

    • Sample rotation : Varible speed 10 -60 rpm

  • Applications

    • SEM sample coating and etching