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Furnace_WET | 열처리 확산로 / KHD-306

석주희 052-217-4190 seok199407@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

LP CVD | 저압 화학기상 박막 증착기 / KVL-206

석주희 052-217-4190 seok199407@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

UHV CVD | 초고진공 화학기상 증착기 / UHV-CVD

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)