이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400SEquipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101) |
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Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101) |
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